A reaktív magnetronos porlasztás egy érett technika arra, hogy vékony összetett réteget vigyenek fel szubsztrátumok széles skálájára felső rétegként vagy közbenső rétegként egy többrétegű bevonatban. A „vékony” hatóköre néhány nanométertől több mikrométerig terjed.
Miért porlad a magnetron?
A mágnesporlasztás a beeső részecskék és a céltárgyak ütközési folyamata … A magnetronporlasztás növeli a plazma sűrűségét azáltal, hogy mágneses mezőt hoz létre a célkatód felületén, és kihasználja a katód korlátait. a töltött részecskék mágneses mezője a porlasztási sebesség növelése érdekében.
Mit ért a reaktív porlasztás?
A reaktív porlasztás olyan folyamat, amely lehetővé teszi a vegyületek lerakódását úgy, hogy egy reaktív gázt (tipikusan oxigént vagy nitrogént) vezetünk a plazmába, amelyet jellemzően inert gáz, pl. argon (leggyakrabban), xenon vagy kripton.
Hogyan működik a magnetronporlasztás?
A mágneses porlasztás egy olyan leválasztási technológia, amely gáznemű plazmát használ, amelyet létrehoznak, és a leválasztandó anyagot – a „célpontot” – tartalmazó térbe zárják. … Ezek az ütközések elektrosztatikus taszítást okoznak, amely „lecsapja” az elektronokat a porlasztó gázatomokról, ionizációt okozva.
Miért fröcsköl az RF?
Az RF vagy rádiófrekvenciás porlasztás az a technika, amely a vákuumkörnyezetben az áram elektromos potenciáljának rádiófrekvenciás váltakozását jelenti, hogy elkerüljük a töltések felhalmozódását bizonyos típusú porlasztó célanyagokon, ami idővel a plazmába ívelt ívet eredményezhet, amely cseppeket lövell ki …
